Вакуумно покритиее процес, използван за производство на висококачествени тънкослойни материали. Той произвежда тънки филми чрез термично изпаряване или разпръскване на органични или неорганични материали върху повърхността на субстрат при вакуумни условия. Тази статия ще въведе подробно прилагането на вакуумното покритие.
Процесът на вакуумно покритие включва следните стъпки:
1. Изберете правилния субстрат и материал
Изборът на правилния субстрат и материал е първата стъпка във вакуумното покритие. Субстратът може да бъде стъкло, пластмаса, метал или други наноматериали. Материалите могат да бъдат органични или неорганични, като метали, полупроводници, оксиди или атриди.
2. Заредете системата за вакуумно покритие
Втората стъпка е да заредите субстрата и материалите във вакуумното покритие. Системата за вакуумно покритие включва вакуумна камера, метален изпарител, разпръскване и система за управление. Вакуумната камера е затворено пространство, използвано за поддържане на вакуумна среда, изпарителите на метали и шивачите са устройства, използвани за изпаряване или разпръскване на материали върху субстрати, а системата за управление се използва за наблюдение и регулиране на вакуумната среда и изпаряването на материала или скоростта на разпръскване.
3. Вакуум
След зареждане на материала и субстрата, вакуумната камера трябва да се евакуира. Вакуумирането е много важна стъпка, тъй като поддържането на ниско налягане и среда с висока чистота може да гарантира качеството на мембраната. Вакуумната среда обикновено е под 10^-6 mbar, за да се изключат газовите молекули и други замърсители.
4. Изпаряване или разпръскване на материала
Когато вакуумната среда достигне желаното налягане, материалът може да бъде изпарен или разпръснат върху субстрата. Има два метода за изпаряване на материала: термично изпаряване и изпаряване на електронния лъч. Sputtering също има два метода: разпръскване на магнетрон и дъга. Който и метод да се използва, трябва да се контролира изпаряването на материала или скоростта на разпръскване и дебелината на филма.
5. Направете многослоен филм
След като бъде изработена еднослойна мембрана, множество слоеве могат да бъдат подредени заедно, за да се образува композит. Могат да се използват различни материали и процеси на отлагане, като редуващо отлагане, съвместно отлагане на много оръдия и зонирано отлагане.
6. Качество на тестовата мембрана
Последната стъпка е да се тества качеството на мембраната. Тестовете могат да включват дебелина, физични свойства, оптични свойства и електрически свойства, наред с други. Определете дали мембранният материал отговаря на изискванията според резултатите от теста.
Накратко, технологията за вакуумно покритие е метод за постигане на висококачествени тънки филми. Той трябва да избере подходящия субстрат и материал, да зареди вакуумната система за покритие, да вакуумира, да се изпари или да се разпали, да направи многослоен филм и да тества качеството на филма. Технологията за вакуумно покритие е широко използвана в електрониката, оптиката, медицинските и енергийните полета.